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利用特制的高能高臭氧UV紫外线光束照射有机气体及空气中的氧分子，裂解有机气体的分子键，并分解空气中的氧分子产生游离氧，即活性氧，UV＋O2→O-+O＊(活性氧)O+O2→O3(臭氧)。游离状态的污染物分子与臭氧氧化结合成小分子无害或低害的化合物，如CO2、H2O等。从而达到净化气体的效果。净化能力可达99%。
uv光解废气处理设备反应工程式：
1、UV+高分子有机物→低分子有机物
2、UV+空气(O2)→O3
3、低分子有机物+O3→CO2+H2O+N2
uv光解废气处理设备技术特点：
uv光解废气处理设备采用的大功率高能紫外线放电管，属低压水银放电管，发出的紫外线波长主要为170nm及184.9nm（目前正在研究开发150nm到184.9nm波长系列产品），光子能量分别为742KJ/mol和647KJ/mol。要裂解切断污染物质分子的分子键，就要使用发出比污染物质分子的结合能强的光子能。表1列出了主要的化学分子的结合能。由表1中可知，大多数化学物质的分子结合能比170nm及184.9nm波长紫外线的光子能量低，所以，本UV高效光解净化器能分解除碳，钙，金属外的大多数化学物质。